什么是液体泄漏传感器?
液体溢出传感器是检测化学液体、水等泄漏的传感器。
当生产设施等处理的化学液体储存罐发生泄漏时,作为防止初期大量化学液体泄漏造成化学损害的安全措施。它还可用于早期发现公寓大楼和大型建筑物的供水泄漏和污水泄漏。
近年来,随着检测技术的进步,除了利用液体的电导率的传统检测方法外,还建立了利用光纤传感器的光电检测方法,使其能够兼容含有各种化学物质的液体。
漏液传感器的使用
液体泄漏传感器安装在使用化学溶液和纯水等液体的生产设备和机器的管道和管道接头周围,液体储罐和液体泵中发生的冷凝,冷却管道,通风室等。这样可以及早发现液体泄漏。
1、半导体制造设备中的凝露、液体泄漏检测
设备周围安装有液体泄漏传感器,用于检测清洁设备内部的凝结以及向周围区域的液体泄漏。
2、化学品储罐管接头泄漏检测
通过将液体泄漏传感器缠绕在液体可能泄漏的区域(例如管道接头)来检测液体泄漏。
3、CMP设备计量槽液体泄漏检测
液体泄漏传感器可检测液体泄漏到 CMP 设备的排水盘中,从而抛光和平整晶圆表面,防止设备损坏和晶圆清洁失败。
4、防爆区域漏油检测
泄漏传感器检测生产设备和防爆区域设备使用的液压缸等液压驱动设备的漏油情况。
5、大型公寓、办公楼漏水检测
利用漏水传感器可以远程检测大型建筑的供水设备、供水管道、污水管道的漏水情况,并及时采取措施。
漏液传感器原理
液体泄漏传感器大致分为接触式检测方式,主要利用液体的电导率进行检测,以及光电检测方式,利用反射和透射,例如光纤传感器进行检测。
1. 导电型
当液体与液体泄漏传感器的两个电极接触时,电流流过液体并检测到液体泄漏。这是一种接触式,利用液体的电导率来检测电极之间的电阻。
采用这种检测方式的泄漏传感器具有线性传感器部分,因此可以检测长距离,来回移动以检测大范围,甚至可以缠绕在其上进行检测。
2.光电式
光电型是使用光纤将来自光源的光投射到物体上并检测反射或透射的光量的泄漏传感器。传感器单元内置有红外线、LED等发光/受光机构,当液体接触到检测单元时,通过改变光的反射率和透过率、减少光量来进行检测。还有非接触式传感器。
如何选择泄漏传感器
液体泄漏传感器的类型有很多种,具体取决于检测部分的形状、液体、使用环境、功能、用途等。
1、检测部分形状
使用检测特定点泄漏的类型、长线类型、带类型和光纤类型。产品具有良好的柔韧性,可以缠绕在管道或物体上,以检测大范围的区域。
2. 目标液体/使用环境
对于液体泄漏传感器,可以根据液体的类型来选择传感器部件。它由氟树脂、聚丙烯树脂、聚乙烯树脂等覆盖,与水、纯水、酸、碱性溶液等相容。
还需要考虑使用环境。选择能够长期承受温度范围、大气、振动、风雨等的产品。如有必要,请使其防爆。
3. 功能/应用
选择泄漏传感器时,应考虑检测部分、电路/控制部分和报警位置之间的连接是有线还是无线、是否需要电源、是否仅控制报警。